国家知识产权局信息显示，浙江创芯集成电路有限公司取得一项名为“湿法清洗设备”的专利，授权公告号CN223798623U，申请日期为2025年2月。
专利摘要显示，本公开实施例提供了一种湿法清洗设备，包括：湿法清洗腔室；可旋转的伯努利台盘，位于所述湿法清洗腔室内，用于放置晶圆；所述晶圆吸附于所述伯努利台盘上，且正面朝向所述伯努利台盘；回收杯组件，围绕所述伯努利台盘设置，以收集所述晶圆旋转时甩出的液体；其中，所述回收杯组件包含多层杯体，每层杯体的部分顶部或全部顶部，其承接所述液体的表面具有凹陷部和/或凸起部。采用上述技术方案，能够有效处理化学液体飞溅到回收杯上时形成反溅的问题。
天眼查资料显示，浙江创芯集成电路有限公司，成立于2020年，位于杭州市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本182000万人民币。通过天眼查大数据分析，浙江创芯集成电路有限公司共对外投资了1家企业，参与招投标项目273次，财产线条，此外企业还拥有行政许可7个。
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